Interferómetros laser – usados fundamentalmente por fabricantes de componentes ópticos y sistemas de lentes para la medición de la forma de las superficies, frente de onda transmitido y radio de curvatura. Hay modelos disponibles con capacidades únicas y propiedades para responder a requerimientos específicos de la aplicación.

Perfilómetros ópticos – miden los accidentes topográficos, así como la forma y alturas, con una resolución nanométrica. LA familia de Perfilómetros ópticos de ZYGO produce un mapa topográfico en 3D de la textura superficial y la rugosidad, sin existir contacto con la superficie.