El silicio coloidal se utilizó por primera vez para pulir obleas de silicio de cristal único donde es necesario eliminar todo el daño de la superficie de la oblea antes de colocar un dispositivo sobre ella. El silicio es amorfo y la solución presenta un pH básico de ~10 aproximadamente. Las partículas de silicio son casi esféricas (como se muestra en la figura 3.14) y la acción de pulido es lenta debido a la acción tanto química como mecánica.

Es más fácil producir superficies sin daños cuando se utiliza silicio coloidal en lugar de otros abrasivos durante el pulido final. Los agentes de grabado pueden responder de manera diferente a las superficies pulidas con silicio coloidal. Por ejemplo, un agente de grabado que produce un grabado de contraste de grano cuando se pule con alúmina puede revelar los bordes de grano y hermanamiento con un grabado “plano” si se pule con silicio coloidal.

A menudo, los agentes de grabado de color responden mejor cuando se utiliza silicio coloidal y producen una gama de colores más agradable y una imagen más nítida. No obstante, la limpieza de la muestra es más difícil.

Para el modo manual, utilice un poco de algodón embebido en solución detergente. Para los sistemas automatizados, deje de agregar suspensión alrededor de 10 o 15 segundos antes de que se complete el ciclo. En los últimos 10 segundos, enjuague la superficie del paño con agua corriente. Así, la limpieza será más simple. Si se deja evaporar, el silicio amorfo se cristalizará. El silicio cristalino raya las muestras, por eso debe evitarse. Al abrir una botella, limpie las partículas cristalizadas que se puedan haber formado alrededor de la abertura. El criterio más seguro es filtrar la suspensión antes de usarla. Se utilizan aditivos para minimizar la cristalización, como el silicio coloidal MasterMet 2, lo que retrasa enormemente la cristalización.